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掃描電鏡高溫原位系統通過MEMS芯片對樣品施加熱場控制，在原位樣品臺內構建熱場自動控制及反饋測量系統，結合EDS、EBSD等多種不同模式，實現從納米甚至原子層面實時、動態監測樣品在真空環境下隨溫度變化產生的微觀結構、相變、元素價態、微觀應力以及表/界面處的原子級結構和成分演化等關鍵信息。
掃描電鏡加熱原位系統通過MEMS芯片對樣品施加熱場控制，在原位樣品臺內構建熱場自動控制及反饋測量系統，結合EDS、EBSD等多種測試模式，實現從納米甚至原子層面實時、動態監測樣品在真空環境下隨溫度變化產生的微觀結構、相變、元素價態、微觀應力以及表/界面處的原子級結構和成分演化等關鍵信息。
